公开号：	US7308830B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压力传感器故障检测
摘要：	一种用于压力传感器的诊断系统，包括：空腔被配置为接受所施加的压力。所述空腔具有第一和第二壁。可弯曲隔膜形成在所述空腔中，被配置为与所述第一壁形成第一和第二电容，并与所述第二壁形成第三和第四电容，这些电容响应于所施加的压力而发生变化，并形成第一传递函数和第二传递函数。检测第一传递函数相对于第二传递函数的变化，以提供诊断输出。