| 摘要： | 提供一个拥有振动接触式探针的测量部分(210),其包含一个用于检测作用在接触部位（212）上的测量力的检测电路（219），以及相对工件表面（S）移动测量部件（210）的运动单元（一个三维传动机构（300）和一个垂直运动驱动结构（220））；和一个基于由测力检测电路（219）输出的测量力的幅值控制运动单元的驱动控制单元（400）。驱动控制单元（400）包括：一个扫描测量控制部分（410），其维持在指定扫描测量力的力度下沿着工件表面（S）移动扫描；采用在工件表面（S）重复执行接触测量的方式接触测量控制部分(420),在测量过程中，接触部分(212)在接触探测力下断续的接触工件表面(S)。 |