公开号：	US7321427B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	多波束椭偏仪
摘要：	椭偏仪装置提供了两种撞击聚焦探针光束来沿两个互不相同和实质上更好的垂直方向直接反射出样品。旋转平台上旋转晶片的一部分以达到由两垂直导向线性平台的两线性轴线的定义的指定区域。因此,整个晶片准许由只有晶片半径一半的行程的线性平台来测量。因此，减少的线性行程引入了由晶片占据的小块运动区域和一个小的装置。当允许使用减少运动的平台时，两个垂直检测光束的使用实现了沿周期性结构的预定方向的测量。