公开号：	US7325452B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	振动陀螺传感器及其调整方法
摘要：	振动陀螺传感器包括振动陀螺敏感部分，敏感部分由振动悬臂构成，悬臂一个表面上有压电薄膜，驱动电极和一对探测电极，还有安装敏感部分的支撑基板。振动敏感部分安装在基板上使悬臂的第一个面面相支撑基板。这个表面之外的另一个区域定义为激光加工面，这里有一个调整悬臂振动特性的凹穴。