公开号：	US7331239B1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	自校准二元薄膜压力传感器
摘要：	压力传感器由电焊条事先设定腔室圆顶角。顶部有一个孔读取压力数值，底部有一个输入口。主隔板通过一个电极和一个绝缘体分别安装在两端。副隔板覆盖在面向主隔板的面上。两个隔板上都有平衡孔，是自校准过程中实现压力平恒。两个隔板都是经过初始化以保证量器空间密封性的，然后副隔板根据已知压力值进行自校准。