公开号：	US7334481B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	基于改进的振动微组件的压力传感器和光学探测系统
摘要：	基于平行硅层夹杂二氧化硅层制成的圆盘的压力传感器，分为作为硅梁制作的振动微组件，它与硅层平面相互垂直并且与支撑底座紧密相连。硅层的一部分形成控制装置并由预设频率的信号驱动，该频率使微组件在真空条件下以已知频率和振幅自由震荡，频率和振幅与底座上通过移去二氧化硅曾而得到的空腔有关。光学探测系统探测微组件的震动频率和/或振幅与已知频率和/或振幅之间的偏差。