公开号：	US7342226B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压力测量方法和系统
摘要：	汇聚性电子束入射到透明材料的评估区域可以获得HOLZ图样，这是由于汇聚电子束传输到透明材料上形成的（步骤S11到S13），HOLZ图样中HLOZ线之间的间隔宽度通过步骤S14计算得出，透明材料评估范围的压力由HLOZ线的间隔宽度计算得出（步骤S15）。因此，压力测量方法和系统可以以高精度测量晶格应变量和透明材料的压力值以及压力源作用在透明材料上的压力值。