公开号：	US7343805B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	表面声压传感器
摘要：	表面声压传感器包括：基板和弹性薄膜，薄膜覆盖在基板厚度方向上的空腔上，薄膜受到液体压力时是弹性可变的，它由面向空腔的第一个面和一个反向的第二个面组成；SAW设备包括涂在薄膜第二面上的压电材料层，和一个安置在压电材料层上的电声换能器。压电材料层是薄膜和基板上沉积的压电材料层整合在半导体芯片上制成的，该层是覆盖在空腔上的薄膜的一个组成层。