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今天是:2025-06-19 Thursday
企业难题需求
公开号: US7352187B2
大类:国外
行业类型:仪器
行业内分类:测量
专利名:真空测量仪
摘要:一个电子发射阴极包括一个与不锈钢侧壁连接的导电发射层,一个固定在发射层的发射表面上的一个凹槽内的一定距离的通道口。围绕在反应区域周围的阴极包括圆柱形的栅格状的阳极和由直线轴丝组成的中心离子收集器。离子收集器的电流反映了在反应区内气体的密度,这一过程是当门电压保持在发射层上的地电压和较高的阳极电压之间时通过测量电流计而实现的,并通过这一过程调整电流计以使得阳极电流是常数。这个发射层可以包括碳纳米管,菱形状的碳,金属或金属混合物或半导体材料,例如具有表层的硅,碳化物或钼。这个发射层的表面然而也可以是变粗糙了的侧壁(例如化学腐蚀)的内表面。这个出入口通道可以是一个栅格或者由金属膜碎片组成的由间隔器包围的切分布在发射区或者是一个覆盖了渗透电子层的金属膜放置在发射层表面。
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