公开号：	US7353616B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	形态测量仪器
摘要：	本文涉及的形态测量仪器可以通过较小的且实时变化的接触力来测量目标的表面形状。一个测量探针制作成倾斜的西塔形状。一个测量力的回复力由这个倾斜的西塔提供，因此它与本身的重量m相比小很多。另外，偏置是由空气罐的挤压力所提供。因而，与工作块的W有关的测量探针上的接触力在测量探针本身重量与空气罐的挤压力之间获得一个差值，因而可以将接触力降低到很小。