公开号：	US7355691B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	缺陷检测设备和缺陷检测方法
摘要：	一台检测待检验的物体上不规则缺陷的检测设备具有一个重复的模式，包括物体表面上规则分布单元的模式用于检测重复模式下产生的不规则缺陷。这个仪器包括一个光源设备，这光源以理想的入射角将光投射到待检测物体包含检测区域的区域上，一个包含有光接收的光学系统的观测仪器用于接收当光源设备将光垂直投射在待检测物体的检测表面时所产生的光。这个光源设备提供的一个光源具有2度或更小的的平行度并具有300000Lx或更大的光照度。