公开号：	US7356114B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	X射线荧光分光计
摘要：	一个X射线荧光分光计包括一个X射线源用于以预定的入射角的原始X射线照射一个试样，一个探测仪器用于以预定的探测角阿拉法和贝塔角测量照射到试样上的荧光X射线的光强，在这个过程中将入射角和探测角阿拉法和贝塔结合，并且这几个角度之间各不相同，每一个荧光X射线的光强都可以被测量到，同样在角度的结合过程中入射角和探测角阿拉法与贝塔是依据代表涂层质量的测量厚度而设置的，当待测目标的涂层重量增加时，荧光X射线的强度可以达到最高限度的百分之99，在结合中的各自测量深度可以比一个涂层的涂层重量要大。