公开号：	US7363814B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	多轴角速度传感器
摘要：	在XYZ平面测量Z向角速度的角速度传感器包括一个基板振荡器，连接振荡器和箱体的灵活部件，使振荡器在X方向振荡的装置，检测振荡器Y轴方向偏差的检测装置从而获得X方向的角速度。