公开号：	US7363816B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	惯性传感器
摘要：	在惯性传感器中，质量块周围的一系列的质量支撑结构来实现支撑。质量支撑结构通过质量块的中心处的锚附属在基板上。质量支撑结构上有许多敏感臂。