公开号：	US7367242B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	有源微力测量传感器
摘要：	有源微力测量传感器是用于精密控制装置的。它包括一个压电材料执行层和压电材料敏感层相结合的悬臂梁。当外力施加到传感器上时，传感器发生形变并产生被敏感层接收的电信号。施加的电信号然后经过伺服转换函数或伺服控制器反馈到传感器执行层，伺服执行层在力矩作用下快速产生一个形变抵消外界微力产生的形变。当形变被平衡以后，传感梁便恢复直线型状态，其尖端仍处于其平衡位置，因此就好像提高了传感器的硬度，就可以实现尖端的微小位移，尤其是可以通过平衡加到执行层的电压进行平衡从而获得微小力。