公开号：	US7379189B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	温度/厚度测量仪器/测量方法/测量系统及其控制系统和方法
摘要：	在本发明中，来自光源的光光被分为测量光束和参考光束，参考光的光学路径长度被改变，测量物体反射回来的光经过干涉形成一系列的干涉条纹。其中的一条干涉条纹被定义为参考条纹，另一条测量光束经过在被测物两端面之间经过两次获多次反射后形成的干涉条纹被定义为被选干涉条纹，利用这些干涉条纹，被测目标两端面之间界定的距离中测量光束的光学路径就会被测定出来。根据光学路径信息就可以获得被测物体的温度信息。