公开号：	US7380320B2
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	压电装置及其制作方法
摘要：	压电装置包括基板，基板上的缓冲层，缓冲层上的底部电极层，它上边还有压电层，再上边是顶部电极层。压电层从底部周围扩展出一个基部。压电装置加强了每层之间的连接强度。