| 摘要： | 反射率测量装置通过用光照射微芯片的测量面，然后接收测量面反射的光，分析得出其反射率信息。光接受部分以角度放置，满足(?)alpha<=theta<=SIN<SUP>-1</SUP>(1/n)，并且是在角度<SUB>min</SUB>和角度<SUB>max</SUB>之间。角度<SUB>min</SUB>和角度<SUB>max</SUB>是被照射面边缘的反射光线与法线之间的角度，该法线是包含光发射中心的平面且与微芯片垂直，<SUB>min</SUB>与有关。<SUB>max</SUB>相当于sin<SUP>-1</SUP>(1/n)，这里是光源发出的光线的散射角，光源处于被测面的正上方，n是传输介质的折射率。 |