公开号：	US2006114438A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	利用空间光调制器阵列的无掩模光刻系统和方法
摘要：	无掩模光刻系统写入一个对象的模式。这个系统包括照明光源、对象、空间光调制器和一个控制器。在对象接收光之前，空间光调制器能从照明光源系统中仿制光。空间光调制器包括一个主要设备和空间光调制器的拖尾设备。在主要设备和拖尾设备的基于对象方向的空间光调制器产生扫描改变。基于最新光脉冲时代信息控制器能发送控制信号给空间光调制器，了解关于空间光调制器的物理安排信息以及对象的扫描信息。系统也能使用各种各样的方法改正那些不一致。