公开号：	US2006132739A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	曝光装置和设备的制作方法
摘要：	平板投影仪包括限制放射光束的光照系统，包含模式设备的支撑结构，能够传输一种模式放射光束的模式设备，以及支撑基底的支撑目录和投影到模式辐射光束到基底目标部分的投影系统。另外，液体供应系统提供液体到投影系统和基片之间的空间，液体供应系统有一个成员。液体密封设备形成在成员和基片之间的液体密封。