公开号：	US2006176543A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	衍射光调制器
摘要：	本发明涉及衍射光调制器，更特别的是，在低反射镜支持的衍射光调制器在考虑到反射镜内部压力的情况下被设置，从而改进反射镜表面的平整度，并且提高了光调制器的光学效率。