| 摘要： | 相偏移光罩具有传输特性，其传输特性至少部分依赖入射光束的强度。相移偏光罩具有一个相对于入射光几乎近于完全透明的掩膜衬底。相偏移光罩的第一层是掩膜衬底，其折射率相对于入射光束强度是非线性的，并且其会跟随相移光罩上入射光束的强度而改变。利用相移偏光罩上掩膜衬底折射率相对入射光束光强的非线性，通过掩膜衬底的光束性质可以通过调节入射光束的光强而进行改变，例如，传输光束的干扰模式。因此，以这种方式，可以提供一种利用相移偏光罩调节曝光模式的新途径。换言之，相移偏光罩的传输特性可以利用入射光束的光强进行调节。 |