公开号：	US2006197930A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	曝光方法和装置
摘要：	这里介绍一种曝光方法，改方法用于对一个面罩图像进行曝光到一个板上，当在浸透在位于投影光学系统和板之间的空间中，为液体。其包括获取温度液体温度信息，根据温度信息纠正图像中的焦点位置获得正确的数值，和搜集根据修改的正确数值对每一个杆扫描位置同步的图像焦点位置信息。