公开号：	US2006198029A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	显微光刻法投影物镜和投影暴光装置
摘要：	本发明主要介绍显微光刻法投影物镜和利用其的纤维光刻投影曝光装置，其至少由一个双折射材料的镜头。根据此发明，该显微光刻法投影物镜有一个光轴和至少一个单轴双折射晶体，其主轴与光轴方向平行，其中所有的单周双折射晶体镜头由相同的晶体材料组成，其中在单轴双折射晶体中的光是非偏振光并且单轴双折射晶体镜头具有从零开始的衍射效应，其具有一个平板出口或一个非平板出口但其几乎没有衍射能量损失。