公开号：	US2006208608A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	带有塑料变形的微加工垂直梳状执行器
摘要：	一个微加工垂直梳状驱动执行器类型或交错垂直梳状驱动类型扭转的或线状的应用设备包括扭转弹簧，其允许通过加热扭转弹簧到可塑状态时，执行器的设备（微型镜）结构自对准变形。弹簧的加热可以是致力器结构按堆加热或是按照通过其上的电流对旋转弹簧进行焦耳加热。