公开号：	US2006209917A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	两室气体放电激光器的控制系统
摘要：	本发明为一个控制系统，其具有模块高速重复率两个放电腔紫外线气体放电激光器。在最佳方案中，随着主控振荡器产生被应用在第二放电腔上的窄带优化种子光束，激光器成为了一个生产线机器。适用于一个两腔气体放电激光器系统的新型控制特点包括：（1）脉冲能量控制，其精度为纳秒等级（2）对光速脉冲波长的精确控制和超高速波长调整（3）快速气体温度控制（4）利用新型学习算法注入F<SUB>2</SUB>控制。