公开号：	US2006239635A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	壳式驱动器
摘要：	在基板上形成微力学共振器。该谐振器具有部分球形壳，球壳外部的一部分被夹到基板上。其他形式的驱动器，由平盘状的或其他形状。移动使光盘具有可选部分，并且很容易导致平面外的运动。一种形式下，激光器用于加热光盘选中的部分，产生光盘移动。这个移动可能会被电容技术或干涉技术检测到。