公开号：	US2006240342A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	利用相位分配桥的分辨率增强技术
摘要：	本设计在光刻设计中每个突起的边缘都已一个间隔。这个边缘至少部分可见层。在间隔和可见层之间形成了一个桥式结构。桥式结构的每一个桥都连接着相邻桥的一个边缘。这样的桥式结构及突起形成了相位分配。相位分配的功能是使桥式结构中每个桥的两端的突起相位相反。在其他的设计中，在突起的边缘上引入了一个次分辨率辅助部件（SRAF），于是在突起SRAF之间形成了一个桥。根据桥式结构的定义，突起与SRAF的相位相反。