| 摘要： | 本文提出的一个检测样品表面的粒子或图案缺点的检测系统，一束光聚焦到样品表面的照明点，并且照明点沿着扫描线扫过样品表面。一个包含一维或者二维传感器的探测器安装在样品表面以便于收集从照明点散射的光。从扫描线路上的每个点散射出来的光又会在阵列中聚焦起来。多个传感器对称的放置在照明光线两边以检测从照明点旁边和前面散射出来的光。照明点的扫描线路是小于样品表面的，所以需要进行多次扫描。一个明场通道能调节样品表面的高度以减少因为样品表面高度引起的误差。检测器的输出部分还提供了不同的比较部件，可以将获得的图像比较以确定和分类缺陷。该传感器的成像阵列结合了扫描和成像系统的优势，因此改进了信号/背景比对系统。 |