公开号：	US2006245034A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	具有反馈控制的微机电系统装置
摘要：	微机电系统装置包括：至少一个可移动的单元，和一个受可移动单元的位置影响的有源装置。控制电路根据检测到的受有源装置的影响的性质从而限制可移动单元的运动。