公开号：	US2006245540A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	光刻的照明系统
摘要：	本设计提供一个用于扫描方式光刻的照明系统，它的光源在沿着扫描方向上发射波长小于等于193nm的光。本照明系统包括多路光栅元件。多路光栅元件成像在照明系统的一个像面上，形成多路图像，在像面上形成了部分重叠区域。这个区域定义了扫描方向上的非矩形光强分布的界限。