公开号：	US2006245686A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	整装波导/MEMS开关
摘要：	本发明公开了一种整装波导/MEMS开关，它包含一个波导部分和一个在单独的玻璃基板上制作的微镜面部分，如硅绝缘体晶片。该整装波导/MEMS开关通过改变一个或多个可移动镜子的位置来调整光信号的相位。镜面部分包括一个具有一个反射面的镜子，它至少和一个微机电驱动器相连以实现在镜子的内平面移动（平行移动到至少有一个波导的上述平面）。在执行过行程中，微机电驱动器具体体现为已知的梳状驱动器。本发明中的相位调整技术可用于多种光学器件中，包括支持多种光信道波长选择光学开关。