公开号：	US2006203233A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	双阶段缺陷区域识别和缺陷检测仪器和方法
摘要：	本文提出一种仪器和方法用于检测一些有图案的基板，例如：光罩。以检测出其中的有害粒子和产品或者图形缺陷。首先用激光通过一个包含激光扫描系统的光学系统扫描光能穿透的基板，再通过光学接收器接收透射光和反射光。该基板缺陷识别是将两标本的反射光和透射光相比较，或将一个标本和标准数据库的光信号进行比较，形成一个包括非缺陷区域的校准图像。校准图像与样品的透射反射光电图想比较以评估表面的质量。