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企业难题需求
公开号: US2006251974A1
大类:国外
行业类型:仪器
行业内分类:光学
专利名: 分划板
摘要: 本发明包括分划板和制造分划板的方法。一方面,分划板包含一个石英底板、一个衰减层还有一个抗反射结构,该结构在衰减层和石英底板之间。本发明还包括一块标线片,在第一和第二表面之间有一块相对透明的区域,邻近第一表面处有一块不透明区域;在贴近第一或第二表面处还包括一个金属氟化物或铪氧化物抑或两者皆有的层。本发明还阐述了制造分划板的方法,其中抗反射结构石英底板的表面之上产生的。抗反射结构包含F-P对,某些方面也包含金属氟化物或铪氧化物抑或两者皆有的层。
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