公开号：	US2006254347A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	扫描探针设备和使用扫描探针的加工方法
摘要：	本发明是一种可以利用探针来观察和纠错的设备，即使超细微结构的下一代光掩膜被制成了物体，该探针在探测过程中，也能在不破坏任何部位的情况下获取物体的位置信息和缺陷部位信息。经过修改，在观察时间内，通过让探针进行1kHz到1MHz的震动，探针和掩膜之间的接触力已经缩小到0.1nN。本发明还用到了硅制成的长100-600mum、厚5-50mum的悬臂梁，观察时，探针和掩膜通过0.1nN的力接触；工作时，通过让探针与掩膜之间以10nN到1mN的压力接触，可以进行缺陷修正。