公开号：	US2006261432A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	三维光电微系统
摘要：	三维微光学交换系统的制作过程为：把光学转换系统分成若干模块，制造光电层用于放置每个模块的光开关和可调滤波器，将光电层与光学连接件连接进行层压。制作过程第一步是通过照射，选择性的找出粘合强度发生改变的黏合剂，第二步是将选好的黏合剂与第一基片上的薄膜设备组连接到一起，第三步选择性的按照曝光要求将部分薄膜设备围在黏合剂上。