公开号：	US2006262380A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	具有静摩擦凸块的MEMS装置
摘要：	干涉调制器包括：基片、可移动薄膜、一个或多个静摩擦凸块，放置在基片和可移动薄膜之间，用于减小它们之间的静摩擦力。