公开号：	US2006208327A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	加速度传感器和加速度传感器的制造方法
摘要：	本文提出了一种加速度传感器，它包括一个半导体基板和分布在基板上的敏感原件，在基板上还有一个由多晶硅做成的粘合结构并且它被传感器原件包围住了，在粘合结构的顶部有一个玻璃帽，它距离传感原件有一定的距离，它的作用是保护传感器原件。这个粘合结构所使用的多晶硅是不含任何杂质的。