公开号：	US2006265099A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	半导体生产系统
摘要：	半导体生产系统包括储存各种信息的存储装置，关于半导体设计和生产的信息与半导体的检验程序息息相关，符合逻辑与表现形式的信息担任着变换指令的角色。本系统包含一个用于存储设备用法的网络，称为存储区域网或“SAN”。SAN是用于相关存储装置、半导体生产设备和半导体检测设备之间互相联络的。无论是对半导体生产设备和半导体检测设备来说，或者综合考虑设计环境，存储装置都是很容易使用的。