公开号：	US2006274804A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	空间滤波器
摘要：	在单侧模式的蚀刻小平面半导体光子器件基础之上，在蚀刻小平面上沉积一种抗反射涂层，再沉积一种空间方式可控的反射率可修改涂层，来修改出射光束的空间行为。