公开号：	US2006275019A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	现场测量的微型传感器阵列
摘要：	本发明提供了一种通过浸入酸性溶液蚀刻来制作微电极和微电极阵列的方法。将玻璃晶片切成预定形状的小块制成狭长的探针，之后浸入酸性溶液。在与探针接触之处，位于酸性溶液上方的有机层会形成弯液面，并且弯液面的角度将会决定蚀刻探针的锥角。蚀刻后，用导电层涂在形成锥角的探针之外，并在导电层上附着一层绝缘层，使得只在探针末端露出一小块导电区域。载有探针的玻璃晶片可以安装到一块印制电路板上。