公开号：	US2006290912A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	曝光装置
摘要：	一种曝光装置包括：用来将十字刻线用曝光光照明的照明光学系统；用来经由投射光学系统和平面间的液体，将十字刻线的图样投射到平面的投射光学系统；和用来测量液体折射率的测量单元，其中，测量单元包括用于生成与曝光光波长相同的测量光的光源，用于储存液体的液体槽，以及通过液体槽用于探测测量光的探测器。其中，液体槽具有用来传播测量光和用于反射测量光的反射光的传输表面。