公开号：	US2006291024A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	光学
专利名：	用于微加工的嵌入式全息掩模
摘要：	一种仿制工件的方法包括提供照明的光源，工件，全息掩模和光学器件。这个光学器件位于照明光源和工件之间的光路中。全息掩模位于照明光源和光学器件之间的光路中。全息掩模被照明光源照明，以形成第一实像。这种方法包括通过光学器件，将第一实像投射，在工件组、工件表面、工件前靠近工件的位置其中至少之一，形成第二实像。本方法亦可包含提供照明的光源，工件，全息掩模。全息掩模被照明光源照明，在工件上形成三维实像。这个方法可以利用三维实像来仿制工件。