公开号：	US2006220662A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	物理量传感器
摘要：	高精度物理量传感器可以保证在由应力引起的电阻增加减少变化时的可靠性。假设，在基底的预定方向上施加应力sigma（例如，施加的最大应力方向），与其平行的方向为水平方向，与其正交的方向为垂直方向，传感器的每一个电阻都有一个水平电阻Rl和一个垂直电阻Rt，当基底上施加应力施加在水平电阻上时，提供一个水平电阻的压电系数比例pil，当基底上施加应力施加在垂直电阻上时，提供一个垂直电阻的压电系数比例pit，，垂直电阻Rt与水平电阻Rl的电阻值比例实质上等于压电系数比例pil：pit。