公开号：	US2006224347A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	使用评估LSI方法测试半导体设备的方法
摘要：	评估LSI值包括一个噪音生成电路，由LSI外部控制噪音产生量，以及一个延时测量电路，测量受噪声影响的延迟电路的信号延迟。噪音量和信号延迟之间的关系是确定的。被测器件（DUT）LSI包括一个功能电路和一个延迟电路，延迟电路具有一个受功能测试操作影响的一个信号延迟。通过评估DUT中LSI的延迟电路的信号延迟，根据确定的关系评估出其中的噪音量。