公开号：	US2006219025A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	机电换能器及其制造方法
摘要：	承重部分(12)由横梁部分(26)支撑，横梁部分为长条形，并且由一个框型支撑部分(10)支持,横梁部分(26)带有压电电阻(20)作为传感元件，将机械振动转换成电气振动,使得承重部分的振动(12)经过横梁部分(26)传播到压电电阻(20).之后，横梁部分(26)由氮化硅薄膜(16)以及诸如聚酰亚胺薄膜的树脂薄膜(18)堆叠而成。