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企业难题需求
公开号: US2006213268A1
大类:国外
行业类型:仪器
行业内分类:测量
专利名: 加速度传感器及其制造方法
摘要: 一个加速度传感器包括:一个含有承载层和半导体层的半导体晶片,两个层堆放在第一方向;一个可动电极和一个固定电极;以及一个沟槽。可动电极通过沿着第二方向加入沟槽的方法与固定电极相对。沟槽在第二方向有一个探测距离。当有加速度时,可动电极沿着第一方向移动。可动电极除了承载层以外还有一个底部。可动电极在第二方向的宽度小于固定电极。可动电极的厚度在第一方向的厚度小于固定电极的厚度。
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