公开号：	US2006219902A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	检验半导体样品的系统和方法
摘要：	该发明是关于检验半导体样品的一套系统及其方法。记录对半导体样品的多次扫描（scans）。每一次扫描都包括财产性利益（apropertyofinterest）的空间分解测量值。每两次扫描至少计算一个相关性。对于每一组扫描，根据相关性计算各自的转换值。扫描相互叠加。在叠加中，每一次扫描转换成其各自的转换值。转换值可用于补偿半导体样品在记录扫描时发生的漂移。由此，该发明专利有助于克服由漂移引起的问题。