公开号：	US2006221350A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	精确高分率测量非球面表面的方法
摘要：	系统包括测量被测零件的表面和波阵面一系列方法，其精度大大提高，尤其非球面上更高的空间频率。方法包括一个试件的多个测量值。其一，校准和控制度量衡的聚焦器件，以避免当试件改变位置时分辨率和精度的损失。其他的方法即传统平均值算法进行延展，用于制止在计量器件固有波度依赖不平衡偏置中较高空间频率结构。有两种方法，一是求平均，制止试件的较高空间频率，以使得计量器件的偏置可以消除；二是直接制止计量器件偏置带入测量值。所有的这些方法都可以在改变配置时互相调节，以使其适用于特殊的几何图形和任务。