公开号：	US2006219909A1
大类：	国外
行业类型：	仪器
行业内分类：	测量
专利名：	探测装置及其设备的制造方法
摘要：	该探测装置用于探测样品表面的完好几何体。其中，一束照射光照射在样品上，样品位于区别于大气的不同环境中，并且探测从样品中放射出的次级辐射，所用的传感器置于其不同环境中的内部。处理设备用于处理位于不同环境外部的传感器所探测到的信号。传输装置用于将传感器探测到的信号传送到处理设备中。